仪器名称: FIB/SEM双束系统
| 仪器编号: 20140879 |
| 仪器型号: Zeiss Auriga |
| 购置日期: 2014-03-13 |
| 单价(万元): 768.3497 |
| 厂家: 德国蔡司 |
| 技术指标: 1电子束 1.1肖特基场发射灯丝； 1.2分辨率： ≤1.0 nm@15KV ，≤1.9 nm@1kV 1.3 放大倍率：12x ～ 1000kx 1.4加速电压：0.1kV ～ 30 kV 1.5束流强度：最大束流不低于20 nA，连续可调 2 离子束 2.1离子源种类：液态Ga离子源，使用寿命保证不低于1500小时； 2.2分辨率： ≤ 2.5nm@30kV； 2.3 放大倍率：300x ～ 500kx 2.4加速电压：最低加速电压不高于1KV, 最高加速电压不低于30 kV； 2.5束流强度：最小值不高于1pA，最大值不低于50nA； 3 探测器： 3.1样品室内二次电子探测器； 4 辅助功能 4.1气体注入系统 4.2 三维成像系统 4.3 透射电镜取样系统 4.4微纳米加工系统 4.5 3D EDS&EBSD |
| 存放位置：340栋114Fib实验室 |
| 保管单位：校级分析测试中心 |
| 管理负责人：梁宁宁 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: 设备只允许机组人员及具有操作上岗证的人员操作，其他人员预约将被拒绝。 |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 双束系统中场发射扫描电镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，聚焦离子束用来对样品进行在纳微米尺度下的切割、刻蚀，透射样品制备及原子探针针尖加工等工作。 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |