仪器名称: 镀膜仪/喷金仪/高分辨溅射仪
| 仪器编号: 20181229 |
| 仪器型号: Q150T |
| 购置日期: 2018-12-29 |
| 单价(万元): 26.00 |
| 厂家: 美国Quorum Technologies |
| 技术指标: 技术参数： 工作腔室：150mm内径x 127mm高 触摸屏全图像用户界面 样品台：标配旋转台 真空系统： 涡轮分子泵：带有空气冷却的涡轮分子泵 旋转机泵：双级旋转机械泵 溅射电流：0-150mA；可预设膜厚（需FTM选项）或使用内置定时器 溅射时间：最长60分钟 金属蒸发/光阑清洁头：用于源自钨丝篮或舟的金属热蒸发。 尺寸和重量：仪器机箱：585mm宽x 470mm长x 410mm高(总高: 650mm) 仪器总重量：33.4Kg |
| 存放位置：364栋D201-2样品前处理实验室 |
| 保管单位：校级分析测试中心 |
| 管理负责人：李丽 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: 系统原因 计费是按次收费 每次可以蒸镀一仓样品 最低预约时间为30min （2023年9月更新） |
| 收费参考标准: |
| 主要功能: 主要特点： 精细颗粒溅射：高分辨率场发射扫描电镜（FE-SEM）制样的精细镀膜应用 涡轮分子泵高真空系统：允许不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材的溅射镀膜，大大拓宽了可溅射靶材范围，既适合普通SEM、高分辨率FE-SEM镀膜制样应用，也为许多薄膜应用等材料科研领域提供理想的镀膜平台 全自动触摸屏控制：快速数据输入，简单操作 可储存多个客户自定义镀膜方案：对多用户实验室十分理想 与镀膜过程和镀膜材料相匹配的预编程自动真空控制 精细的厚度控制：使用膜厚监控选项（需订购膜厚测量仪） “智能”式系统识别：自动感知用户所装的插入式镀膜头的类型 蒸发电流波形控制 Drop-in落入式快换样品台（标配旋转台） 真空闭锁功能：可让工作腔室处于真空状态，改善后续真空效果，或在真空条件下保存样品 镀制厚膜能力：一次真空条件下的溅射时间可长达60分钟（材料科研领域的应用） 人体工程学设计的整体成型机壳：易维护和易拆装 设有功率因素补偿，有效利用电能，降低运行成本 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |