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基本信息
FIB/SEM双束系统

仪器名称: FIB/SEM双束系统

仪器编号: 20235897
仪器型号: JIB-4700F
购置日期: 2023-03-24
单价(万元): 407.65
厂家: 日本电子
技术指标:

1电子束 1.1肖特基场发射灯丝;1.2分辨率(最佳WD时):1.2nm@15kV,1.6nm@1kV 1.3加速电压0.1-30kV;1.4放大倍率20x-1000kx;1.5探针电流1pA-300nA;2离子束 2.1离子源种类:液态Ga离子源,使用寿命不低于1000小时;2.2加速电压1-30kV;2.3图像分辨率4nm(30kV);2.4放大倍率50x-1000kx;2.5探针电流1pA-90nA,13档;2.6加工形状 矩形、线、点、圆等;3探测器 3.1二次电子探测器;3.2背散射电子探测器,4辅助系统 4.1气体注入系统;4.2三维成像系统;4.3透射取样系统;4.4微纳米加工系统;4.5 EDS

存放位置:364栋D101-2FIB实验室
保管单位:校级分析测试中心
管理负责人:华宇翔
共享: 预约仪器
预约须知:

内容: 1.开放时段: (1)试运行期间,每周一至每周五早9点至12点,下午2点至6点,正式运行后,开放时间为周一至周日早9点至晚12点; (2)国家法定节假日、上课、培训、维护时间不开放,寒暑假服从学校和中心的统一安排; 2.关于测试人员: 只有具备FIB上机资格的人员方可进入透射室进行测试,试运行期间采用全机组委托测试,试运行结束后将开放上机操作培训,为保证培训质量,每期限定培训5人,请及时关注中心大型仪器培训平台。 3.关于预约和违约: (1)预约最大提前时间为5天,每周每个课题组预约最大机时为40小时; (2)最小预约时间为4小时,请根据实际需求准确预约时间,切勿浪费机时,对于浪费机时超过0.5小时以上的将按预约机时进行收费。 (3)学生预约后导师24小时内未批准,则系统自动取消该预约,其他人可自由申请; (4)请准时赴约,准时下机,勿浪费、拖延占用他人的机时;不按时下机,强行占用他人机时的,预约时段内的测试人员有权停止其实验; (5)每天最后一个测试的同学,测试结束后,请在10min内完成一切收尾工作,恢复一个安全、干净、整洁的实验室,方可离开;若发现违规,提醒3次仍不改者,将不再审批所在课题组本学期的预约申请; (6)学生实验员要严格遵守操作规范,必须戴手套接触实验器材; (7)严禁不刷卡上机、实际上机时间与刷卡时间不相符及上机后不登记设备实验情况,如若管理人发现自主上机人员有以上情况发生,第一次暂停该课题组1个月预约资格,第二次将永久取消该课题组上机资格。

收费参考标准:
主要功能:

双束系统中场发射扫描电镜可用于观察、分析材料的微观形貌,独有的GB模式和in-lens检测器系统可以进行高分辨观察和高速分析;聚焦离子束可用来对样品进行在纳微米尺度下的加工,标配三维分析功能,以固定间隔自动进行截面加工并自动获取SEM图像。

仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表